容器尺寸：Ф1200×600mm（直段）
热沉内尺寸：Ф1000×450mm
液氮制冷，低温≤90K
红外加热笼辅助加热，高温为+80℃
低温泵系统，极限真空度≤1.3×10-5Pa
配置专用航空插头，通过穿舱法兰将内外部引线连接
