容器尺寸:Ф2800×3000mm(直段)
热沉内尺寸:Ф2500×3000mm
液氮制冷,低温为100K
红外加热笼辅助加热,高温为+120℃
低温泵系统,极限真空度≤5×10-5Pa
配置专用航空插头,通过穿舱法兰将内外部引线连接