主要技术指标：
有效尺寸：Ф3000×4000mm（直段）
液氮制冷，低温为100K
红外加热笼或灯阵辅助加热，高温为+150℃
清洁无油真空系统
极限真空度≤5×10-5Pa
配置专用航空插头，通过穿舱法兰将内外部引线连接
