用于阴极预处理及试验二极管排气
空载极限真空5×10-7pa 。
启动30分钟后系统真空度达到7×10-4 pa。
可设多个工作位置,玻璃系统经烘烤,阴极预处理后,系统真空度达到3×10-5 pa
多路阴极预处理电源,程序处理阴极性能参数曲线.