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    多工位精密充气排气系统

    主要用于低温制冷机的排气和精密充气

    6工位，可独立充排气，也可分组充排气

    极限真空度：≤1×10-4Pa；

    工件控温范围：室温~140℃；

    工件最大充气压力：5MPa；

    配置四极质谱仪

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