用于电真空器件除气与封接
空载极限真空5×10-5pa，工作真空度5×10-3pa
有效加热区Ф300×500mm,最高温度:1300 ℃
温度均匀性:工作温度时≤±3 ℃
工控机程序控制排气工艺全过程
