多工位程控超高真空slower加速器教程

主要用于电真空器件的排气、烘烤、老练

5~14工位

工艺过程程序自动控制

系统极限真空度:2×10^-7Pa.

烘箱有效加热区1200mm (长)×500mm (宽) ×1000mm (高),烘箱升降行程1000mm.

最高烘烤温度600℃，控温精度±2%